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代理德國(guó)Thyracont冷陰極真空計(jì)VSM77赫爾納供應(yīng)
公司簡(jiǎn)介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國(guó)Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國(guó)的真空測(cè)量設(shè)備制造企業(yè)。該公司始于1970年，致力于真空測(cè)量技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)，其業(yè)務(wù)涵蓋真空傳感器、真空計(jì)、真空開關(guān)、控制器及相關(guān)真空組件的供應(yīng)，并為真空泵和真空處理設(shè)備制造商提供產(chǎn)品。Thyracont的產(chǎn)品應(yīng)用于流程工業(yè)、涂層、分析與研發(fā)以及半導(dǎo)體和太陽能等多個(gè)領(lǐng)域。
Thyracont主要產(chǎn)品類型
1. 真空計(jì) (Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關(guān) (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 數(shù)字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系統(tǒng)控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號(hào)
1. VSM77 系列 (皮拉尼/冷陰極組合式真空變送器，含VSM77D, VSM77DL, VSM77E等型號(hào))
2. VD8系列 (便攜式數(shù)字真空計(jì)，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (冷陰極真空計(jì))
4. VD6 (單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC (電子真空開關(guān))
7. Smartline系列 (數(shù)字真空變送器)
8. VD800 (緊湊型真空計(jì))
代理德國(guó)Thyracont冷陰極真空計(jì)VSM77產(chǎn)品介紹
VSM77是Thyracont公司生產(chǎn)的一款組合了皮拉尼（Pirani）和冷陰極（Cold Cathode）原理的智能數(shù)字真空變送器，用于從粗真空到超高真空（UHV）范圍的絕對(duì)壓力（Absolute Pressure） 測(cè)量，屬于其Smartline產(chǎn)品線。
技術(shù)參數(shù)
特性 | 參數(shù)值 |
測(cè)量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 冷陰極（倒置磁控管式）組合傳感器 |
測(cè)量范圍 | 1000 – 5×10?? mbar (1000 – 0.000000005 mbar) / 750 – 5×10?? Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 讀數(shù)、10-2×10?3 mbar: <10% 讀數(shù)、2×10?3-1×10?? mbar: <25% 讀數(shù) |
重復(fù)性 | 10-1×10?2 mbar: ±2% 讀數(shù)、1×10?2-1×10?? mbar: ±7% 讀數(shù) |
響應(yīng)時(shí)間 | < 200 ms |
輸出信號(hào) | 0-10 VDC (對(duì)數(shù)輸出，測(cè)量范圍1.82-8.6 V)；RS485串行接口；部分型號(hào)支持EtherCAT或Profinet |
供電電源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 25 ISO-KF |
接觸真空材料 | 不銹鋼 1.4307, 鎢, 鎳, 玻璃, 鉬, Al?O?陶瓷 |
過載保護(hù) | 可達(dá) 10 bar (16 bar 可選 CERT31P) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
防護(hù)等級(jí) | IP40 (VSM77D/DL) 或 IP54 (VSM77E，帶配套連接器) |
電氣連接 | Sub-D 15針 (VSM77D/DL) 或 M12 連接器 (VSM77E) |
重量 | 約 555 g |
工作原理
VSM77采用了組合傳感器技術(shù)，集成了皮拉尼（Pirani）傳感器和冷陰極（Cold Cathode）傳感器。皮拉尼傳感器基于氣體導(dǎo)熱原理，適用于中低真空范圍（通常從大氣壓至約10?3 mbar），其測(cè)量結(jié)果會(huì)受氣體類型影響。冷陰極傳感器（采用倒置磁控管設(shè)計(jì)）基于氣體分子在強(qiáng)電場(chǎng)中發(fā)生電離產(chǎn)生離子流的原理，適用于高真空和超高真空范圍（從10?3 mbar延伸至5×10?? mbar），其測(cè)量結(jié)果同樣受氣體類型影響。內(nèi)置的微處理器自動(dòng)控制兩個(gè)傳感器之間的切換與數(shù)據(jù)融合，從而實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的寬范圍連續(xù)測(cè)量，并提供經(jīng)過處理和補(bǔ)償?shù)男盘?hào)輸出。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
1. 極寬的測(cè)量范圍與自動(dòng)切換：結(jié)合皮拉尼和冷陰極兩種原理，實(shí)現(xiàn)了從1000 mbar到5×10?? mbar的極寬量程覆蓋，并能自動(dòng)在不同真空度區(qū)間切換傳感器工作，減少了冷陰極在較高壓力下的不必要的運(yùn)行，有助于延長(zhǎng)其使用壽命。
2. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與耐用性：采用金屬密封的不銹鋼測(cè)量元件，適用于高真空（UHV）和超高真空應(yīng)用。具備較高的過壓保護(hù)能力（可達(dá)10 bar，可選16 bar）。耐腐蝕的金屬外殼提供了IP54或IP40的防護(hù)等級(jí)，適應(yīng)工業(yè)環(huán)境。
3. 接口豐富與集成便捷：提供多種輸出接口，包括模擬量（0-10V）、RS485數(shù)字接口，部分型號(hào)支持EtherCAT或Profinet現(xiàn)場(chǎng)總線，便于連接PLC和控制系統(tǒng)。提供兩個(gè)獨(dú)立的無電勢(shì)繼電器開關(guān)點(diǎn)，可用于過程控制或報(bào)警。
4. 維護(hù)與校準(zhǔn)便利：傳感器探頭設(shè)計(jì)為可更換式，且更換探頭時(shí)存儲(chǔ)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)可隨之轉(zhuǎn)移，簡(jiǎn)化了維護(hù)工作。支持通過按鈕或軟件界面進(jìn)行零點(diǎn)和大氣壓的調(diào)整。
主要應(yīng)用
VSM77真空變送器可應(yīng)用于多個(gè)需要寬范圍真空測(cè)量與控制的領(lǐng)域，尤其是涉及高真空和超高真空的工藝過程，例如：
1. 分析儀器：用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等精密分析儀器中真空度的監(jiān)控。
2. 鍍膜與氣相沉積系統(tǒng)：用于物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等鍍膜工藝過程中真空度的監(jiān)控與控制。
3. 真空爐與材料研究：用于高溫真空爐、材料燒結(jié)或合成設(shè)備中的壓力監(jiān)控，確保高純度無氧環(huán)境。
4. 過程工程：用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生產(chǎn)等流程工業(yè)中涉及高真空過程的設(shè)備。
5. 超高真空測(cè)量與控制：任何需要監(jiān)測(cè)或控制從粗真空到超高真空范圍的場(chǎng)合。
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